适用于硅片/晶圆/蓝宝石/砷化镓/锗片等半导体材料的RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子清洗、及颗粒物去除等
可根据工艺需要装配聚偏氟乙烯（PVDF）、聚四氟乙烯（PTFE）、石英（quartz）、不锈钢（SUS）、聚丙烯（PP）、聚氯乙烯（PVC）等化学溶剂槽、超声/兆声清洗槽、QDR（喷淋、快排、鼓泡、溢流、快速注水）清洗槽、DIW清洗槽等。
通过PLC、触摸屏、伺服电机、进口导轨丝杠实现全自动控制。
设备可装配机械手，并可实现自动供液、循环过滤、机械抛动、排风系统、安全防护门、自动灭火装置、漏液检测等功能。
可根据客户需求定制。
