设备名称

RCA清洗机

用途

晶圆的RCA清洗

操作方式

手动/半自动/自动

适用领域

半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等

适用工艺

SC-1、SC-2、SPM、BOE、超声（兆声）清洗、QDR等；

清洗方式

槽式清洗

可清洗尺寸

2吋---12吋晶圆

主体材质

全不锈钢框架，外包进口PP、PVC板

槽体材质

石英、PVDF、PTFE、NPP等

温控精度

±1℃

安全防护

自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统

模块化设计

满足客户多种工艺及产能的定制化要求

可编程菜单，方便用户操作，直观

实时流程显示，可控性强

多级权限密码，方便管理，安全可靠

自动保存生产数据

可实现远程控制

可实现功能

药液管理系统（自动供液、自动补液、循环过滤）、在线加热、甩干、电导率检测、恒温系统、百级FFU等