设备名称

单片清洗机

用途

晶圆、掩膜版的清洗和甩干

操作方式

自动

适用领域

半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等

适用工艺

晶圆的RCA清洗、兆声清洗和甩干

清洗方式

旋流式冲洗喷嘴，兆声DIW清洗

可清洗尺寸

2吋--12吋晶圆

真空值

显示屏同步显示，可达≤-90KPa

兆声清洗

兆声频率280-950KHz可选，功率可调；

伺服电机

采用进口专用旋转电机，运行安静平稳，0- 3500RPM+转/秒加速仅需0.5秒

真空吸盘

采用PEEK、PTFE材质，强度高、耐腐蚀、密封性能好

载片台

采用真空吸附+PIN定位，防止甩片碎片

主体材质

不锈钢、PP、PVC

槽体材质

不锈钢、PP、PVDF

安全防护

自动安全门、漏液报警、声光报警系统

模块化设计

满足客户多种工艺及产能的定制化要求

可编程菜单，方便用户操作，直观

实时流程显示，可控性强

多级密码，方便管理，安全可靠

自动保存生产数据

可实现功能

可装配装取片机器人

可配置滚刷刷洗；

化学液及纯水自动供应，流量可视可调

可实现远程控制